潍坊激光切割|潍坊护栏加工

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由电磁学原理可知，相邻的两个极板间电容量为C=εS/h, 式中ε---极板之间介电常数)一般为(1), S---极板相对有效面积, h---两极板间间隔, 假如没有等离子体的干扰，那么，根据式(1)所测到的电容就和极板（喷嘴和加工对象）之间间隔成反比，由电容量可以方便求出两极板间间隔，进而求出焦点和被加工对象之间的相对位置。但是，当喷嘴和被加工对象之间存在等离子体或喷渣时，电容极板之间的电介质就不是空气了，其介电常数就发生变化。由电容原理公式，此时两个极板间电容量为：
    C'=ε S1 /[(h-h1)+h1ε/ε1 ]+εS2/h (2), 式中ε1---等离子体的介电常数, h1---等离子体云的厚度, S1 + S2 =S分别为有等离子云或喷渣的区域和无等离子云或喷渣的区域的面积, 假如等离子云均匀分布于喷嘴和被加工对象之间的一定高度范围之内，则电容传感器所测得的两极板间间隔为：
    h'=(h-h1)+ h1ε/ε1 (3)
    检测的误差理论值：
    Δh = h'-h